Verbum

ПЛА́ЗМЕННАЯ ТЭХНАЛО́ГІЯ,

сукупнасць метадаў апрацоўкі сыравіны, матэрыялаў і вырабаў патокамі плазмы. Працэсы П.т. грунтуюцца на фіз., хім. і змешаным механізмах уздзеяння кампанентаў плазмы на апрацаваны матэрыял; выконваюцца пры нармальным (атмасферным) ці павышаным ціску, а таксама ў вакууме.

Дазваляе змяняць форму, памеры, структуру апрацаванага вырабу, стан яго паверхні. Уключае плазменнае нанясенне на паверхню цвёрдых цел тонкіх плёнак металаў, паўправаднікоў, дыэлектрыкаў і інш. матэрыялаў, змены фіз. або хім. уласцівасцей, а таксама выдаленне (траўленне) плёнак і прыпаверхневых слаёў. У тэхналогіі электроннага машынабудавання найб. пашыраны плазменныя працэсы, якія ажыццяўляюцца ў вакууме, што забяспечвае найменшыя забруджванні матэрыялаў і вырабаў, добрую ўзнаўляльнасць вынікаў і інш.

На Беларусі даследаванні па праблемах П.т. распачаты ў 1950-я г. ў БДУ і Фіз.-тэхн. ін-це Нац. АН; вядуцца ў Ін-це малекулярнай і атамнай фізікі, Ін-це цепла- і масаабмену Нац. АН, Бел. ун-це інфарматыкі і радыёэлектронікі, БПА і інш. Распрацаваны метады і створана апаратура для электрадугавога сінтэзу і перапрацоўкі розных матэрыялаў, у т. л. для утылізацыі ядахімікатаў, плазменныя прылады для атрымання ахоўных і дэкар. слаёў на паверхні буд. матэрыялаў, плазменнага нанясення на вырабы алмазападобных пакрыццяў і інш.

Літ.:

Плазменная металлизация в вакууме. Мн., 1983.

У.​Дз.​Шымановіч.

т. 12, с. 402